(1)真空元件，如閥門、捕集器、除塵器和真空泵等相互聯接時，應盡量作到抽氣管路短，管道流導大，導管直徑一般不小于泵口直徑，這是系統，的一條重要原則。但同時要考慮到安裝和檢修。有時為了防振和減少噪音，允許機械泵設置在靠近真空室的泵房內。
(2)機械泵(包括羅茨泵)有振動，要防止振動波及整個系統，通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種，不論采用那種軟管要在大氣壓力作用下不被壓癟。
(3)真空系統建成后，應便于測量和檢漏。，實際告訴我們，真空系統在工作過程中，經常容易出現漏氣而影響，。為了迅速找到漏孔，要進行分段檢漏，因此每一個用閥門封閉的區間，少要有一個測量點，以便測量和檢漏。
(4)真空系統中配置的閥門和管道，應使系統抽氣時間短，使用，安。一般在有一個蒸氣流泵作為主泵(擴散泵或油增壓泵)；和一個機械泵作為前，泵的系統上，除了有前，管道(蒸氣流泵串聯機械泵的管道)外，還應有一個預真空管道(真空室直通機械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設有高真空閥門(也稱主閥)，在前，管道上設有前，管道閥(也叫低真空閥)；在預真空管道上設置預真空管道閥(稱低真空閥)。主泵上的高真空閥門，通常不能在閥蓋下為真空狀態，而閥蓋上為大氣壓狀態下開閥，這要通過電氣聯鎖安。前，管道閥和預真空管道閥要考慮到閥本身能在大氣壓下開閥。以蒸氣流泵為主泵的真空系統，主閥要蓋向主泵，前，管道閥也要蓋向主泵，預真空管道閥蓋向真空室。在機械泵入口管道上，應設一個放氣閥門。當機械泵停止工作時，能立即打開此閥，使機械泵入口通入大氣，防止機械泵油返流到管路中，因此該閥要和機械泵電氣聯鎖。真空室上也要設置放氣閥門，給裝料和取料時用。該閥設置的位置要考慮到放氣時，氣體沖力較大，防止因沖力過大而破壞真空室內的薄弱構件。放氣閥的大小與真空室的體積有關，要考慮放氣時間不能太長，影響工作。
(5)真空系統的，應排氣，安裝拆卸維修容易，操作，各元件間的連接有互換。為了達到工作中排氣，要求主泵能，各閥門運轉靈活，密封，系統中各元件的接頭不漏氣，真空室密封能好，備真空元件連接采用標準尺寸，有互換。在真空系統，中，原則上講，每一個封閉管路尺寸應有一個可調尺寸。這個可調尺寸在過去，中，都采用軟管來，現在，系統時，多數不采用軟管。而采用提高真空元件加工尺寸和利連接法蘭上的密封橡膠圈來安裝誤差，這樣可以提高系統強度和剛度，減少用于系統上的支架，。
(6)真空系統，中要采用，做到自動控制和聯鎖保護。隨著真空技術的發展，要求在整個抽氣過程中能夠進行自動操作，如采用真空繼電器控制羅茨泵在1333Pa壓強下啟動工作。采用水壓繼電器控制蒸氣流泵的水壓在某一個壓力上，當水壓不足或斷水時，能夠立即斷電并發出警報。防止泵被燒壞。對于復雜真空系統和工藝過程及參數要求嚴格的設備應采用微機程序控制，安。
(7)真空系統，中要求做到節省能源，降低成本，使用。做到這一點有很大的意義，它可使所，的真空應用設備有的市場銷路。
